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进料的wafer,深圳市易捷测试技术有限公司,易捷测试技术,经过正反面目检和显微镜正面micro检查,进行检查和分选
易捷测试提供AOI-wafer光学检查机
经验丰富的晶圆级AOI技术和供应商
以客户为导向的解决方案,自动光学AOI设备,高度灵活性
具有更好COO的2D / 3D解决方案的专享技术
可以集成第三方镜头和传感器进行高测量
1)双相机,几乎同一聚焦面
2)可倾斜相机,加强DOF2D 和 DFF
3)扫描方向很大程度满足用户需求
4)2D,3D激光测量 线扫测量结合
5)AOI-晶圆光学检查机 Handler
标准配备1个Load port,单臂翻转机械手,预对准模块,自动光学AOI设备,目检台和显微镜
兼容8寸和12寸晶圆
标准load port可以对应FOUP,自动光学AOI设备,AutoFOSB自动开盖,具备Mapping功能
高精度运动机构,低噪音,低尘,无需供油
触摸屏操作,界面友好
有源负载牵引_在片电子测量仪器系统-深圳市易捷测试技术有限公司
对应GEM300,采用SEMI标准软件