Table Stable的主动隔震台能够克服一般光学平台以及气浮平台低频共振,配合Herzan的隔音箱能够隔绝空气的扰动,光刻机主动隔振,模块化光学计量标准器具光学平台,能够给精密测量提供全方位的振动隔离,适用于时间频率测量、原子力显微镜(AFM)、扫描隧道显微镜(STM) 广州市固润光电科技有限公司
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光刻机主动隔振相关