日期:2014-11-02 01:09
，而使膜层透过率和蚀刻性能变差；或因氧气流量较大，而造成靶面中毒，使溅射效率下降，从而使膜层变薄、电阻升高。鉴于此，材料商开发出了氧化靶，即将高纯度的氧化铟和氧化锡超细粉末，按一定比例充分混合好，再采用粉末冶金工艺烧结成固体靶材。随着制作工艺的不断改进，ITO靶材密度逐步提高，现在已达到99.5%以上，基本满足了ITO导电玻璃的需要。ITO导电玻璃的性能指标主要有基板玻璃的外形尺寸、表面电阻（或方块电阻）、透光率、膜层厚度、蚀刻性能和可靠性等。
ITO导电玻璃按电阻分，分为高电阻玻璃（电阻在150~500欧姆）、普