日期:2014-11-02 01:09
原材料之一。玻璃基板的厚度通常只有0.3~1.1mm，它具有重量轻、透明度高、平整度高、有一定的机械硬度、容易切割加工等特点，因此被广泛应用于平板显示器上。ITO导电玻璃随着20世纪70年代初LCD显示器的兴起至今已经历了40多年的历程，并从过去只能生产高电阻、小尺寸、普通表面、黑白显示的产品，发展到了现在能够生产低电阻、大尺寸、抛光表面、彩色显示的产品。
早期的ITO导电玻璃是采用铟锡合金作为溅射靶材，通过氧化反应而成膜的。此种靶材对溅射工艺控制有极其严格的要求，尤其是氧气流量的稍许波动，就可能形成氧化反应不充分