径为800毫米的非球面反射镜，*可达0.1微米，外表粗糙度为Rz0.05微米。
2、精密零件加工
精密零件加工精度以纳米，甚至后来以原子单位(原子晶格距离为0.1～0.2纳米)为目标时，超精密零件切削加工方法已不能适应，必要借助特种鼓风机精密加工的方法，即应用化学能、电化学能、热能或电能等，使这些能量超越原子间的联合能，从而去除工件外表的部分原子间的附着、联合或晶格变形，以达到超精密加工的目的。属于这类加工的有机械化学抛光、离子溅射和离子注入、电子束曝射、激光束加工、金属蒸镀和分子束外延等。
二、精密零件加工