，未来普通加工技术、精密加工技术与超精密加工技术所能达到的精度分别为1μm、0.01μm与1nm，并且超精密加工技术已经在向0.1nm方向发展。加工精度的提高有利于实现制造装配的自动化，进而带动了相关产业的快速发展。
精密机械的发展使现代产品的精度越来越高，超大规模集成电路就是这一背景的产物，其要求将几十万个元件集成在一平方毫米的平面上，线宽仅为1μm，位置误差与形状误差低于0.05μm，因此进一步要求提高机床精度，加工技术也需要进行改进来满足加工需要。
一、精密机械加工工艺及其优势
相比于无屑工艺，精密机械