处理，微电路制造，超精度表面加工技术，融合接合技术，下一代光刻技术，纳米压印技术，飞秒激光曝光设备，MEMS、喷墨机，NEMS，传感器，纳米电子，光电，射流，模型，WCM。
4 纳米生物与医切削液：生物传感器，纳米生物材料，靶向切削液物释放，荧光标记、纳米诊断试剂、纳米诊断设备、纳米医切削液，纳米*与消毒、RNA、纳米探针、人工心脏等。
5 纳米环保清洁：光触媒、纳米*消毒、HVAC系统、净化设备、纳米空气净化与水处理技术、空气净化器、空气过滤器、水处理探测与处理设备、新型环境治理技术、PM2.5预防设备和耗材等。
6 其它纳