172nm准分子灯

准分子灯，又称紫外线准分子灯，通过采用准分子气体配比获得不同单色波长，如172nm、222nm或308nm等高强度的准分子紫外光。准分子发射的紫外线光具有单光谱特性，狭窄的光谱线和单色紫外辐射光谱使得它能用更集中的功率来进行光处理。光清洗利用有机化合物的光敏氧化作用，去除黏附在材料表面的有机物，经过光清洗后的材料表面可以达到“原子清洁度”。主要应用于液晶显示器件、半导体硅晶片、集成电路、光学器件等领域。关键点172nm准分子光的吸收系数，比185nm紫外光大约高20倍，从而允许产生高浓度的活性氧。这种光的效率也很高，因为它直接作用于氧气，产生高氧化激发的氧原子。打破分子键打破有机物质的分子键,要求光子能量超过该有机物质的结合能。物质的能量吸收（激发）越大，就越容易引发反应（分解）并且所需的处理时间越短。许多有机物质的结合能，低压紫外线灯无法打破，但是可以使用准分子灯产生的172nm波长进行分解，从而实现光固化效果。提高亲水性材料表面暴露在空气中，空气中的有机物会附着使得材料面发生老化现象，呈现出疏水特性。通过172nm波长的UV紫外线照射氧气分子，产生一系列化学作用后，清除材料如钛金属表面的碳氢化合物，可以大大提高材料表面亲水性。在某些情况下，可以实现完全亲水化，其中整个表面变得润湿。此时，液体的接触角达到零度，将液滴转化为液膜。应用：平板显示器制造（1）薄膜晶体管阵列工序（2）彩色滤光片制作工序（3）粘接

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